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【商品名称】：TG2U型光刻机【商品规格】：TG2U 【商品简介】：产品特点：TG2U型光刻机是制造中，大规模集成电路，传感器，表面波元件，磁泡，微波和CCD等器件的重要光刻设备。欢迎您联系我们获得光刻机(TG2U型)的更多信息。【备　　注】： TG2U型光刻机主要技术参数见下表：项目参数适用的掩模尺寸 a.100X100X2－3mm；b.75X75X2—3mm；c.63X63X2—3(选购)；适用的硅片尺寸 φ35—75mm 光刻图形线条 3-4μm, 最细可达2μm 掩模与硅片之间的相对位移范围 X/Y±2.5mm,(族转) ±6° 承片台(硅片)绕主轴旋转粗调360度,可微调承片工作台综合移动范围 X,Y合成φ75mm 承片台的球座平面至掩模板面升降 0—7.5mm 曝光灯源 GCQ200W超高压汞灯，曝光波长，300―436nm 曝光系统能量不低于 7mw 曝光系统的照度均匀度在φ75mm范围内 ±5％显微镜的照明波长 ≈545nm 曝光时间控制范围 0.1秒—99分双目显微镜的放大倍数 a.目镜共二种:10X,16X；b.平视场物镜共三种:6X,9X,15X；c.合成放大倍率:60X—240X；真空接触压力 ≥0.7kgf 装箱尺寸 1000X850X980mm(2只) 装箱重量 200kg 注：用户有何特殊要求可协商。
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本文阅读关键词：光刻机,SMT

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公　司:	北京同志卓越科教有限公司	联系人：	赵永先添加为商业伙伴

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