全自动程控扩散(图),全自动程控扩散(图)价格,全自动程控扩散(图)销售

行业分站:

设为首页	免费注册	客客通	会员登录	供应站	采购站
收藏本站	电子资讯	电子展会	二手设备	维修保养	设备加工

您当前的位置：电子生产设备网首页 >查看供应信息>> 全自动程控扩散(图)

详细说明

为您详细介绍：全自动程控扩散(图)产品,希望全自动程控扩散(图)可以为您的企业解决生产中的问题！
全自动程控扩散炉扩散炉是半导体器件及集成电路制造过程中用于对晶片进行扩散、氧化、淀积、退火及合金等工艺的热加工设备，主要由加热炉、净化工作台、推拉舟系统、气源柜、控制系统等组成。采用高精度智能化及性能极为先进的仪器，适合连续长时间、高精度、高稳定度控温工作，性能十分可靠。可加工晶片尺寸：2—8英寸；工艺炉管：1-4管；推拉舟细分驱动，运行平稳可靠。可实现工艺类型有（根据工艺需要配套质量流量计或玻璃转子流量计）；干氧氧化、湿氧氧化、氢氧合成氧化、磷扩散、硼扩散、退火、合金、玻璃钝化等工艺。按控制方式分为微控扩散炉和程控扩散炉。程控扩散炉：能实现升温、恒温、降温的自动控制及过程控制，100步工艺能存储多条工艺曲线，偏移量自动修正，智能PID控制，具有断偶、超温保护、极限报警等功能。微控扩散炉：可实现温度、推拉舟、气路的全自动控制及过程控制，可适用于各种工艺类型。控制器独立工作，互不干扰。由工控计算机编程操作、独立控制、显示，可实现工厂自动化管理，各炉管都有独立的温度、推拉舟、气路控制系统。功能特点： ★全中文windows操作界面，可编辑参数，操作方便。 ★可保存多条工艺曲线，每条曲线可设置多步。 ★工艺曲线的自动运行控制功能。 ★自动运行中可暂停/继续运行功能。 ★工艺中可强制跳到下一个工艺步运行功能。 ★智能升降温斜率制功能。 ★PID参数自整定功能。 ★系统故障的检测与报警功能。 ★智能悬臂推拉舟控制功能。 ★停电后断点继续运行功能。 ★工艺气体的程序控制功能（电磁阀/质量流量控制器）。★可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能。主要技术指标： ★工作温度范围：300℃-1300℃；★恒温区长度范围：300mm-800mm； ★恒温区精度范围：600℃-1300℃≤±0.5℃； 300℃-600℃≤±1℃ ★开机重复性：±1℃ ★升温时间：60min； ★温速率可控范围：爬升率20℃m（最大）下降率5℃/min（最大）
更多的全自动程控扩散(图)产品，全自动程控扩散(图)价格咨询，全自动程控扩散(图)产品样本索取，可以直接联系本公司！我们可以提供更多的全自动程控扩散(图)技术支持！
本文阅读关键词：该系统是生产半导体器件和大规格集成电路的重要前工艺设备

全自动程控扩散(图)-图片展示区：

产品图片

发布时间:		价格说明:
有效期:		产品数量:
浏览人数:		包装说明:
公　司:	青岛育豪微电子设备有限公司	联系人：	陈庆建添加为商业伙伴

公司基本资料信息

最新供应 | 联系方式 | 公司介绍

本公司更多的相关产品展示：

卧式三工位真空烧	全自动程控扩散(	扩散炉加热炉体(	LPCVD化学相	链式隧道烧结炉(	控制机柜（温度控	链式烘干炉(图)	单工位真空炉
立式扩散炉

【收藏此信息】

【打印此页】

【关闭该窗口】

免责声明：以上信息由企业自行提供，该企业负责信息内容的真实性、准确性和合法性。电子生产设备网对此不承担任何保证责任。
友情提醒：为保障您的利益，建议优先选择客客通会员！