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三工位真空烧结炉主要应用于电力半导体器件,烧结,焊接等工艺设备参数： ★口径：Φ350mm ★工作方式：共用一套加热体，A、B、C管交替工作 ★工作温度：300-1000℃ ★恒温区1000mm±3℃ ★冷态真空度：5Χ10-4Pa ★真空系统：机械泵+K300扩散泵 ★阀门：Φ300气动挡板阀为主阀和进口电磁阀加热 ★功率：47KW ★真空计：复合数字表 ★充气种类：N2、氩气、H2 ★控制系统全自动、手动
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公　司:	青岛育豪微电子设备有限公司	联系人：	陈庆建添加为商业伙伴

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