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(1)太阳能电池专用扩散炉主要技术数据 ◆工作温度： 300~1300℃ ◆有效口径根据用户扩散片确定，可订制 ◆恒温区长度： 1080mm（可根据用户要求定制） ◆温区精度 (静态闭管测试)：600℃＜工作温度＜1200℃： ±0.5℃ 300℃≤工作温度≤600℃： ±1℃ ◆单点温度稳定性(静态闭管测试)： 600℃＜工作温度＜1200℃： ±0.5℃/24h 300℃≤工作温度≤600℃： ±1℃/24h ◆温度斜变能力：最大可控升温速度(300～1300℃)： 15℃/min 最大降温速度(1300～900℃)： 5℃/min ◆气体流量设定精度： ±2％FS ◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s ◆自动送料装置行程： ~2000mm 速度： 5~1000mm/min SiC浆承重 17kg ◆装片数量 400片/管 ◆净化台洁净度 100级（10000级厂房） ◆三相五线制 380V±10%，50Hz±10%Hz； ◆冷却水： 2～4Kgf/cm2，～8L/min (2) 太阳能电池扩散主要有开管扩散和闭管扩散两种形式闭管扩散的主要特点如下： ◆闭管磷扩散，带有工艺废气冷却定向回收装置，偏磷酸、CL2分开收集处理；工艺废气集中收集从尾部定向排出；各种工艺气体可分开送入石英管内，工艺气体(三氯氧磷)可采用喷淋式方式引入到石英管内。，闭管扩散方式工艺过程完全不受外界环境干扰，工艺质量完全受保护 ◆自动化程度：自动控制温度及工艺过程。主控温控模块采用英国欧陆品牌，可在达到±0.25℃的控制精度。 ◆送取片方式：悬臂式推拉舟。采用侧面布局的悬臂推拉结构，可有效的防止偏磷酸下滴，造成推拉机构受腐蚀，影响推拉机构的精确性。我公司推拉系统采用光杠传动系统，本系统比丝杠传动系统运行更平稳，避免了推拉舟长时间运行后由于丝杠变形引起的推拉舟的震动；防止突然断电时，丝杠抱死，拖不出炉膛。
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有效期:		产品数量:	供应太阳能电池专用扩散炉(图)现货
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公　司:	青岛赛瑞达设备制造有限公司	联系人：	宋德鹏添加为商业伙伴

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