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电力电子器件专用真空扩散炉 ⑴ 真空扩散系统技术指标 ◆工作温度范围: (400—1285) ℃; ◆长期工作温度: (1000—1285)℃; ◆恒温区长度及精度: (900—1285)℃; 760mm/±0.5℃ (400—900)℃; 760mm/±1.0℃ ◆单点温度稳定性: (900—1285)℃; 760mm/±0.5℃/48h (400—900)℃; 760mm/±1.0℃/48h ◆升降温的控制曲线斜率: ◆最大升温速率：15℃/min ◆最大降温速率；0.5℃/min;（1285~900℃） ◆具有恒温区温度可编程自动修正，可自动进行测量恒温区温度分布的功能。 ◆ 气体 : 定制 ◆真空不锈钢法兰、炉门及真空管道: ◆炉门温度: ∠80℃; 并采取有防热辐射的措施。 ◆ 真空管道: 硬连接, 内壁电抛光, 无气孔;固定牢靠。 ◆无油真空机组: ◆涡轮分子泵: ◆干式泵(水冷却): 极限真空度优于0.9 Pa ◆ 系统工作真空度：优于2.0×10-4Pa ◆系统抽真空能力：真空腔抽到2.0×10-4Pa的时间≤40 min
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公　司:	青岛赛瑞达设备制造有限公司	联系人：	宋德鹏添加为商业伙伴

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