扩散炉,扩散炉价格,扩散炉销售

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详细说明

为您详细介绍：扩散炉产品,希望扩散炉可以为您的企业解决生产中的问题！
微控扩散炉扩散炉是半导体器件及大规模集成电路制造过程中用于对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺的一种热加工设备。按控制方式分为微控和程控两种。其组成有：加热炉体（扩散炉主机）、净化工作台、送片系统（推拉舟系统）、气源系统、控制系统等。 ⑴微机扩散炉主要技术指标 ◆可配工艺管外径：2~8英寸 ◆可配工艺管数量：1~4管/台 ◆工作温度范围：400～1300℃ ◆恒温区长度及精度：300～1000mm 600~1280℃±0.5℃ ◆单点温度稳定性：600～1280℃ ±0.5℃/24h ◆最大可控升温速度：15℃/min ◆最大降温速度：5℃/min ★青岛赛瑞达可为用户量身定制非标准产品。 ⑵该系统主要功能如下 1、全中文操作界面，可编辑参数，操作简便。 2、可保存多条工艺曲线，每条曲线可设置多步。 3、工艺曲线的自动运行控制功能。 4、自动运行中可暂停/继续运行功能。 5、工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能。 6、智能升降温斜率控制功能。 7、PID参数自整定功能。 8、可存储多组PID参数供系统运行调用功能。 9、系统故障的检测与报警功能。 10、系统误差修正（单点或多点动态修正功能）。 11、智能悬臂推拉舟控制功能。 12、工艺气体的程序控制功能（电磁阀/质量流量控制器）。 13、停电后断点继续运行功能等等。 ★该系统可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能。氧化工艺图氢氧合成工艺图控制系统推拉舟系统主机气路系统
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本文阅读关键词：扩散炉，程控扩散炉，管式炉，微控扩散炉

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发布时间:		价格说明:	扩散炉面议
有效期:		产品数量:	扩散炉现货
浏览人数:		包装说明:	扩散炉原厂包装
公　司:	青岛赛瑞达设备制造有限公司	联系人：	宋德鹏添加为商业伙伴

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