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程控扩散炉赛瑞达公司自主开发的程控扩散炉系统，由进口温度控制器控温，具有高可靠性，高稳定性，功能强大，操作简单等优点，是半导体生产企业理想的生产设备。 ⑴ 程控扩散炉特点 ◆关键件全部采用进口件，具有高可靠性。 ◆具有可编程的升、降温功能。 ◆具有断电报警、超温报警、极限超温报警等多种安全保护功能。可存储九条工艺曲线。每条工艺曲线最多有九步。曲线间可以任意链接、重复。 ◆具有高抗干扰能力。 ◆具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置。赛瑞达可为您提供斜滚式推拉舟系统，石英双杆推拉舟系统及SiC浆推拉舟系统。 ⑵程控扩散炉主要技术指标 ◆可配工艺管外径：2~8英寸 ◆可配工艺管数量：1~4管/台 ◆工作温度范围：400～1300℃ ◆恒温区长度及精度：300～1000mm 600~1280℃±0.5℃ ◆单点温度稳定性：600～1280℃ ±0.5℃/24h ◆最大可控升温速度：15℃/min ◆最大降温速度：5℃/min ★青岛赛瑞达可为用户量身定制非标准产品。 ⑶扩散炉选型要点 ◆按结构可分为立式和卧式两种。 ◆推拉舟有斜滚.双杆.悬臂三种形式。 ◆工作台有简易操作台（无净化、净化）;标准操作台（无净化、净化）。 ◆按管路的组成及连接形式可从以下两方面来区分： 1.按流量控制器区分：可分为浮子流量计和质量流量控制器。 2.按阀门及连接方式区分：可分为进口电磁阀卡套连接.进口气动阀卡套连接.进口气动阀VCR连接三种形式。 ◆按工艺类型区分：可分为干氧氧化.湿氧氧化（普通湿氧化和氢氧合成氧化）. 磷扩散.硼扩散和退火（合金）等多种。
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发布时间:		价格说明:	供应程控扩散炉(图)面议
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公　司:	青岛赛瑞达设备制造有限公司	联系人：	宋德鹏添加为商业伙伴

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